氮化镓外延设备
品 牌
SiCCESS®芯程
外延规格
8吋/6吋兼容，多种衬底
所属分类
氮化镓外延设备
产品附件
详情介绍
▍技术优势
芯三代公司自主研发的高性能氮化镓材料外延生长设备，满足未来市场对设备更高产能要求的同时，具有高外延均匀性、低外延缺陷、低外延运行成本、长维护周期和易于维护等特性。
▍工艺性能
高产能
外延8/6吋兼容
无故障运行时间长
外延膜厚度与组分均匀性优
机台量产运行成本低
自动化程度高
全天候连续量产
适用多衬底类型
地址
中国江苏省苏州市工业园区苏慕路100号
No. 100, Sumu Road, Suzhou Industrial Park, Suzhou, Jiangsu Province, China