产品认证

芯三代公司系列设备针对SEMI S2/S6/F47认证的要求，采取了充分的软硬件措施，确保碳化硅外延系列设备符合相应认证标准所需的环境、健康和安全等各项要求。

符合SEMI S2规定证明书

符合SEMI S6规定证明书

符合SEMI F47规定证明书

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中国江苏省苏州市工业园区苏慕路100号

No. 100, Sumu Road, Suzhou Industrial Park, Suzhou, Jiangsu Province, China

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