分体式垂直气流碳化硅外延设备
品 牌
SiCCESS®芯程
外延规格
8吋/ 6吋碳化硅晶圆
所属分类
碳化硅外延设备
产品附件
详情介绍
▍技术优势
分体式将电源与尾气模块、PM/TM/EFEM模块做了分体式设计，方便用户将电源与尾气模块单独放入灰区或夹层区域。并可配合SMIF模块和天车联动，实现全自动功能。
设备拥有完全独立的自主知识产权，具有差异化的进气方式、垂直气流和温场控制技术，辅以全自动上下料（EFEM）系统和高温传盘等手段，实现了全球优异的低缺陷等综合技术指标和性能，在高产能、8/6吋兼容、CoO成本、长时间多炉数连续自动生长控制、低缺陷率、维护便利性、可靠性等方面都具有明显的优势。
▍工艺性能
分体式特点
电气和排气系统
可独立放置于灰区或夹层
产能
≥1100片/月（双腔）；
通过工艺优化，
可超过1200片/月
外延规格
8吋（兼容6吋）
温区和气流模型
多区控温
垂直喷淋
气流多区可调
旋转速度
0-1000转/分钟
最高外延生长速率
≥60微米/小时
片内厚度不均匀性
≤2%
（可优化到1%以内，
σ/平均值，EE 5mm）
片内浓度不均匀性
≤3%
（可优化到1.5%以内，
σ/平均值，EE 5mm）
致命缺陷密度
≤0.2cm-2
（最低可达0.01cm-2）
垂直腔独特优势
高压厚膜
沟槽外延
* 以上数据来自于客户实测数据
地址
中国江苏省苏州市工业园区苏慕路100号
No. 100, Sumu Road, Suzhou Industrial Park, Suzhou, Jiangsu Province, China